Back to top

真空模組

真空模組,可以在10^-7Pa的真空環境下運行,耐溫達200℃,真空模組的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率底的材料。此系列產品主要應用于真空室,高溫室,高潔凈度環境。

真空模組

特點

真空模組特點:

  • 一體化設計,可靠易用。

  • 標準化設計制造60、90、120三種規格,可定制其它規格

  • 工作環境溫度-196℃至+200℃

  • 適用真空度10 -7  Pa 

技術規格


模組規格絲桿導程重復精度承載能力最大行程最大速度

(mm)(mm)(kg)(mm)(mm/s)
601/2/10±0.510-228001000
902/5/10/26/20±0.5
15-46800
1000
1202/5/10/16/20±0.5
20-60800
1000


第三方認證
題目 日期 大小